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Nanomotor与激光光束稳定
发布时间:2015-11-25     点击次数:21

  

光束稳定系统.png

  信欧光电开发的Nanomotor系列压电纳米位移促动器,具有<30nm的分辨率,其小巧的体积和极低的重量使其在高精密定位中得到了广泛应用,比如半导体晶圆薄片的加工、生物细胞探针的纳米探测以及激光束光路稳定等等。这里,我们简要阐述其在激光光束稳定领域的应用。

  我们采用了Nanomotor系列中的4个SNM01产品,其行程为13mm, 开环控制,分别装配于两个反射镜架上,用于?#33489;?#23556;镜M1和M2进?#34218;?#24230;调节。该光束稳定系统同时采用了两个四象限位置探测器QD1和QD2。 入射光束经M1反射到M2?#31995;腜1点,再经分光镜BS1和BS2分别将一部分光束反射入QD1和QD2,用以实时探测光束位置。QD1探测到的光斑位置信息将反馈给反射镜M1,通过调节M1?#31995;?个Nanomotor促动器,从而控制M1镜片的角度,使得入射到M2?#31995;?#20809;电P1保持恒定;同时,Q2探测到的光斑位置信息将反馈给反射镜M2,通过调节M2?#31995;?个Nanomotor促动器,从而控制M2镜片的角度,使得从M2出射的光束一直沿水平方向传输。这样,就完全实现了激光束空间传输过程中指向恒定没有偏离,智能化地解决了激光或光学应用中的光束指向漂移的难题。

  

光束稳定系统 规格尺寸.png


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