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Nanomotor在半导体晶圆加工领域的应用
发布时间:2015-11-25     点击次数:79

  信欧光电开发的Nanomotor系列压电纳米位移促动器,具有<30nm的分辨率,其小巧的体积和极低的重量使其在高精密定位中得到了广泛应用,比如半导体晶圆薄片的加工、生物细胞探针的纳米探测以及激光束光路稳定等等。这里,我们简要阐述其在半导体晶圆加工领域的应用。

  我们采用了Nanomotor系列中的3个SNM01产品,其行程为13mm, 开环控制,分别用来调节晶圆薄片加工平台的垂直高度Z和两个角度(俯仰、偏摆),通过与Nanomotor配套的4轴智能控制器一次性控制3个Nanomotor 产品的步进距离,从而实现对晶圆薄片的准确定位和位置调节(如下图)。而传统的?#27431;?#30005;机或步进电机则由于其较大的体积和重量使其无法应用到此类场合。

  

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